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TMAH溶液外表张力及外表性剂浓度的精准控制

  • 2017-9-29
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  四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液,在晶片消费中用作CMP(化学机器抛光)预洗濯剂,或在半导体范畴的光刻工艺中作为显影剂。为了完全润湿晶片外表,通常会在TMAH溶液中参加外表活性剂以低落其外表张力。确保一个波动且不与外表多少外形相干的蚀刻进程。

  静态外表张力(随工夫变革的润湿举动)对涂层的平均性和分歧性有着十分紧张的影响,静态丈量法如吊片和拉环的办法并不实用于这类题目的剖析,由于他们丈量的是静态外表张力而非静态外表张力。别的,运用静态法丈量后,必需对测试设置装备摆设停止十分庞大的洗濯,这会消耗少量的工夫。德国世界杯公司依据差别的使用范畴,提供差别的处理方案以检测槽液配方的外表张力。基于创新的气泡压力法,世界杯外表张力仪可以准确、疾速的丈量静态外表张力,从静态到准静态的外表张力 。

TMAH溶液外表张力测试

  世界杯 DynoTester是一个十分灵敏、笨重的手持式外表张力测试仪,十分实用于工艺进程中质量的监控,可停止现场丈量,测试工夫短,测试后果能立刻与所需值尴尬刁难比。因而,世界杯 DynoTester 可对TMAH溶液的润湿功能停止轻便快捷的剖析。操纵复杂,无需任何专业经历,仪器的一切功用都可经过仪器上的按键完成。

  关于高要求的TMAH溶液,以及需对检测后果停止延续监控的状况,世界杯 公司引荐运用进程监控零碎--世界杯 Clean Line ST。这一零碎间接集成在工艺进程中,活期丈量外表张力,并在设定的范畴内主动比拟数据,因而我们可在表

  面活性剂浓度凌驾限定值后,在短工夫内接纳相干处置步伐。设置装备摆设至多可以贮存一整年的测试数据,假如需求停止临时数据存储,则可以经过USB 端口将数据传输到盘算机。 世界杯的外表张力仪可以牢靠的监控槽液的质量,为研发和洗濯工艺进程树立精良的根底进而取得高质量后果。别的,外表张力检测还能防止过量运用外表活性剂,从而低落消费本钱。

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Dynotester 外表张力仪